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超水设备采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
超水设备又称做：超水器，超水机，超水仪，超水系统，实验室超水器等。 超水机所生产的超水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超水。一般超水出水能达到18.25兆欧。
[1]超水设备工艺流程
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→水箱→水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 （≥18MΩ.CM）(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→化水箱→水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(新工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→第二级反渗透（正电荷反渗膜）→水箱→水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）(新工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→水箱→水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(新工艺)
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 （≥15MΩ.CM）(传统工艺)
以上工艺各有各的优势，你可以根据你自身的情况选购适合你的工艺。随着科学的发展，很多新的工艺已经替代了旧的工艺，目前用反渗透法制取水已经普及，也是为现今的工艺。超水设备应用领域
主要应用于光伏太阳能；多晶硅/单晶硅清洗；芯片；半导体、触摸屏，微电子等产品表面清洗；是与超声波配套使用的设备
